Saures und ammoniakalisches Ätzen
- Linie/Zwischenraum: 50/50 µm
- Dicke: min. 0,05 mm, max. 5,0 mm
- Dimension: siehe Produktionsfähigkeit
Ausrüstung:
- Linie zur Resistentfernung, ammoniakalisches Ätzen und Zinnentfernung
- Sigma Mecer Maschine für die Regeneration des ammoniakalisches Ätzmittel
- WISE Linie für sauren Ätzen (etching, stripping)